杨杰提前把沉浸式光刻技让瑞星科技公司研发出来就是为了为了解决国内现阶段在半导体技术整体不足的情况。

现阶段瑞星科技公司自工件台上的运动精度只能控制在4纳米，制造出来的光刻机只能保证极限制程工艺维持在90纳米的，而三阳光学公司自己现在制造出来的镜片光学数值孔径只能达到0.5，距离德国蔡司制造出来的镜组0.7还是有不小的距离。

不过今年上半年机床研究院的超高精度设备研发部门会推出超高精度的数控磨床，到明年初三阳光学公司应该能生产出更高数值孔径的镜组出来。

瑞星科技公司在光刻机跟刻蚀机的设计跟系统整合方面这些年已经逐步成熟了，这让杨杰有信心在明年就可以大批量的生产出沉浸式光刻机出来，到时候可以大幅地降低国内晶圆厂的建设成本。

现在艾斯摩尔公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻机一套要卖到两千万到五千万美金之间，一座晶圆厂至少需要3到4台，瑞星科技公司到现在已经在国内卖出去了三十多台，在这个上面赚了差不多5亿多美金，光刻机反倒是卖得最多，总共卖出去了六百多台，每台售价在一百八十万美金，差不多赚了十多亿美金，现在国外很多公司也是向瑞星科技公司开始下订单采购刻蚀机。

其实从前年开始，瑞星科技公司就开始99下半年年就开始实现了盈利，杨杰这几年总共向瑞星科技公司投入了接近二十多亿美金，现在终于是见到了成效。

现在瑞星科技公司的研发人员超过了三千多人，并且积极地跟国内外的公司合作。

杨杰利用跟自己跟军方良好的关系，将光刻机的10个分系统、数万个机械件件、100多个传感器分包给了给了国内的上千家研究所和数百家军工企业来完成。

瑞星科技公司则是负责这些系统的整合和检测验收，自己主要的精力集中在几个核心系统的研发。

军方高层对此非常重视，更关键的是瑞星科技公司定制的这些系统虽然要求极为严苛，但是给的订金十分丰厚，去年一年交付产品从瑞星科技公司拿到的款项就达到了五十多亿。

既然这么赚钱，军方自然是十分舍得下本钱，前年就把所有的生产设备全都更新了一遍，很多设备还是从机床研究院定制的，并且加大了研发投入。

现在瑞星科技公司产品线分为系列和系列，其中系列光源为高压汞灯光源，这种机型使用了瑞星科技公司自己设计生产的镜组，镜头是三阳光学公司生产提供的，也采用了步进扫描沉浸式技术，因为使用了沉浸式技术，这种波长在365纳米的光源原本极限制程只能达到0.25微米，但是现在可以提升到了120纳米，而且价格只有一千美金！

现在市场上尼康、佳能、艾斯摩尔三家主力都是以氟化氪激光光源为主，极限制程工艺在130纳米，高端的机型是以氟化氩激光光源的光刻机，极限制程工艺在65纳米。

现在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻机极限制程工艺可以达到90纳米，这还是因为工件台的进度不够导致的，如果能把工件台的运动精度控制在2纳米，那么制程工艺可以达到70纳米左右！

瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技术后简直像是一头野蛮的公牛闯进了瓷器店一般，将这个原本只有三家瓜分的光刻机市场是搅得天翻地覆！

去年十月份瑞星科技公司推出的系列机型销售情况十分好，到现在总共是卖出去了五十多台，而且差不多有一大半是海外的客户，而采用氟化氪激光光源的系列也是卖出去了三台。

倒不是瑞星科技公司不想卖，而是德国蔡司提供的镜组就只有十几套，剩下的都要留给中晶微和华越电子公司以及华晶集团，实在是没货了。

不过系列的机型因为产能供得上，不过瑞星科技公司现在产能也是很吃紧——人手不够了。

在得知这个消息后，李开元也是格外高兴，“提出沉浸式光刻机技术是你提出来的方案吧，之前几年瑞星科技公司都是不声不响的，现在技术成熟后马上就推出了先进的产品，可以说是彻底地把这个市场格局给改变了，这证明科技创新才是最重要的。”

“是呀，现在瑞星科技公司掌握了光刻机的核心技术，国外对我们在半导体产业的限制是越来越少了。”马秋林笑着说道。

“比起淡马锡集团公司的来访，这个消息意义就更为重大了。”李开元点头道。

“这次中晶微公司收购了特许半导体的两家晶圆厂，还要和特许半导体再合资兴建一座十二寸的晶圆厂，这些晶圆厂的产能主要是用来生产什么类型的芯片？”

孙世聪问道。

“主要是用来生产手机相机需要的图像传感器跟控制芯片。”

杨杰也是将自己的计划向省里的这些领导作出了详细的说明。
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